蔚華科攜南方科技，搶進SiC基板檢測商機

MoneyDJ新聞 2023-11-28 15:06:21 記者 王怡茹 報導

半導體測試解決方案專業品牌商蔚華科技（3055）今(28)日舉行新品發表會，宣布攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。蔚華科技總經理楊燿州表示，這是公司加速發展自有產品第一步，並將持續擴大應用領域，相信能帶動未來業績及獲利顯著提升。

在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC晶片需求迅速爆發，尤其生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。

化合物半導體的基板材料品質決定晶片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下，目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。

JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。

南方科技總經理王嘉業進一步說明，以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用JadeSiC-NK後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片6吋基板以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下台幣250萬元，若是具有100個長晶爐的基板廠，一年即可省下台幣2.5億元。

蔚華科技總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測。

楊燿州強調，除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也擬加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。