ATTO Co., Ltd.( 030530.KQ)為一家製造半導體設備的供應商,提供電漿激發式化學氣相沉積系統(PECVD)設備給半導體晶圓生產,供氣系統包括氣瓶櫃、閥組箱與閥盤、煤氣淨化器和F2發電器。 2009年2月,公司完成中國半導體設備服務。