Lasertec Corporation
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Lasertec Corporation成立於1960年,總部位於日本橫濱,是日本從事各種檢查及量測設備開發製造商,採用極紫外光(EUV)晶片製造方式,提供測試機具的廠商,主要產品為半導體(晶圓/光罩)光學檢測機台研發與製造。主要產品包括半導體用光罩缺陷檢測及測量設備、晶圓缺陷檢測或審查設備、晶圓凸點檢測及量測設備、FPD光罩缺陷檢測設備的FPD相關設備、共焦雷射掃描顯微鏡,其中雷射顯微鏡,是使用雷射光源進行共焦測量的顯微鏡,可捉奈米級精細結構,應用於半導體材料、透明薄膜、塗層材料、無機和有機材料、生物樣品、金屬與塑料部件等領域。半導體客戶包括台積電、聯電、三星電子、英特爾等。
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