上海至純潔淨系統科技股份有限公司

上海至純潔淨系統科技股份有限公司(603690.SH)成立於2000年，為一家致力於為高端先進製造業的高科技企業提供高純工藝系統的解決方案供應商，是國內領先的高純工藝系統供應商。

迄2021年，公司形成了六大事業部，且均以子公司經營主體的方式運行，分別是至純集成(BU1-高純工藝系統)，至微科技(BU2-濕法設備及晶圓再生服務)，至一電子(BU3-電子材料及部件)，琺成浩鑫(BU4-生物製藥工藝系統)，波匯科技(BU5-光傳感與光器件)，馭航智慧(BU6-工藝數位化)。

客戶方面，高純工藝領域包括上海華力、中芯國際、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微、西安三星、無錫海力士等客戶；半導體濕法設備客戶如中芯國際、北京燕東、TI、華潤等；光傳感客戶如國家電網、南方電網、中國石油、華為、霍尼韋爾等。