氖氣
人氣(6393)
化學式為Ne,是一種無色、無味、無腐蝕性、非易燃、也不助燃的稀有氣體,在空氣中的氖氣含量18ppm。主要可以應用在彩色霓虹燈的充裝氣體、電子工業的填充介質、可視發光指示燈、電壓調節、激光混合氣成份、低溫冷卻劑,也是半導體晶片曝光、蝕刻製程的關鍵原料之一。烏克蘭是全球最大的「氖氣」供應國。
氖氣是半導體生產的重要原材料。把圓柱狀的矽錠(ingots)切割成一片片的晶圓(wafer)後,晶片生產商在光刻或微影(lithography)的步驟中,利用激光把電路圖刻在晶圓上,從而製成晶片。由於晶片電路細微精密,廠商需要準確控制激光的波長,這就是氖氣的功能所在。
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