中巨芯科技股份有限公司

中巨芯科技股份有限公司(688549.SH)，主要從事電子濕化學品、電子特種氣體和前驅體材料的研發、生產和銷售。產品廣泛應用於集成電路、顯示面板以及光伏等領域的清洗、刻蝕、成膜等製造工藝環節。

 

公司的電子濕化學品主要包括電子級氫氟酸、電子級硝酸、電子級硫酸、電子級鹽酸、電子級氨水、緩衝氧化物刻蝕液、矽刻蝕液等，應用於積體電路、顯示面板、光伏等領域產品的清洗、刻蝕等工藝環節。

 

電子特種氣體是積體電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料，廣泛應用於刻蝕、清洗、摻雜、氣相沉積等工藝環節。公司生產的高純氯氣、高純氯化氫、高純氟化氫、高純六氟化鎢、高純氟碳類氣體等是積體電路、顯示面板、光纖等領域清洗、刻蝕、成膜、光纖脫水等工藝環節的關鍵材料。

 

前驅體材料是攜帶有目標元素，呈氣態、易揮發液態或固態，具備化學熱穩定性，同時具備相應的反應活性或物理性能的一類物質，是薄膜沉積工藝的核心製造材料，應用於半導體生產製造工藝。公司生產的前驅體材料主要用於 CVD 和 ALD。CVD是指利用氣態物質通過化學反應在基底表面形成固態薄膜的一種成膜技術；ALD是指將氣相前驅體材料脈衝交替地通入反應器，並在沉積基體上吸附、反應而形成薄膜的一種技術。

 

公司以集成電路客户為主，顯示面板與光伏客户為輔。電子濕化學品獲得SK海力士、台積電、德州儀器、中芯國際、長江存儲、華虹集團、華潤微電子、廈門聯芯等半導體企業的認可；電子特種氣體及前驅體材料也陸續進入如中芯國際、廈門聯芯、士蘭微、立昂微、上海晶盟、華潤微電子、德州儀器、京東方、華星光電等客戶的試用與供應階段。