熱處理爐

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                熱處理爐指要為熱處理晶錠或晶圓之裝置。隨著結晶直徑之增大，在晶圓狀態下加以熱處理成為主流。就熱處理爐的配置而言，有電阻加熱器和爐心管配置成棋向之棋型爐，或將電阻加熱器或爐心管配置成縱向之縱型爐。

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