拓荊科技股份有限公司

拓荊科技股份有限公司(688072.SH)成立於2010年，總部位於瀋陽市渾南區，是國家高新技術企業，主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務。2020年在北京、上海、海寧成立三家子公司。
 
公司主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備、原子層沉積(ALD)設備和次常壓化學氣相沉積(SACVD)設備三個產品系列，擁有自主知識產權，技術指標達到國際同類產品先進水平，產品主要應用於集成電路晶圓製造，以及TSV封裝、光波導、Micro-LED、OLED顯示等高端技術領域。公司在北京、上海、武漢、合肥、天津、台灣等多個地區的近40條生產線都設有技術服務中心。
 
客戶方面，PECVD設備有中芯國際、華虹集團、長江存儲、重慶萬國半導體；ALD設備有ICRD；SACVD設備有北京燕東微電子。