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微機電整合
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微機電整合
係指極微小尺寸及精度(通常在微米--Micron-11m 等級)的機器構造,與電子或光電元件結合次訊與控制技術,作微小運動或極高精度的感測工作。
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分類主題:
IC設計
‧
MEMS
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