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真空蒸著法
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真空蒸著法
是一種將薄膜元件堆積在基板的方法。在一個真空倉內製造薄膜元件,這種方法是利用材料的蒸氣透過遮罩模紋沉澱在一基板上,而形成所希望的薄膜元件。
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