LPE是將磊晶層藉由過飽和的磊晶溶液成長在單晶的基板上。LPE主要用在發光二極體（LED）上。液態磊晶技術的優點有：長出高品質的磊晶層，系統成本低，以及材料性質的再現性相當高。缺點則是表面形態比其它磊晶技術的磊晶表面形態要差，晶格常數的限制，以及異質磊晶成長時有接面漸變現象存在。
