圖案化藍寶石基板(PSS)
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圖案化藍寶石基板(PSS),即為提高LED晶片的亮度與光萃取率,將藍寶石平面晶圓以半導體蝕刻製程,於LED藍寶石基板進行圖案化加工,並經由PSS控制LED的發光形式,能夠減少差排密度、改善晶體藉以提升LED的內部量子效率,同時PSS的凹凸結構能夠散射光線(Scattering Light),增加LED的亮度。
PSS的結構尺寸通常數微米到次微米之間,圖案化結構越小及深寬比越高,元件的光取出的效率就越高。其方法可分為壓印微影法及轉印法:
1.壓印微影法:指將做為蝕刻遮罩材料的壓印膠塗佈於藍寶石基板上,然後利用壓印製程將壓印膠圖案化,接著先去除壓印殘餘層,再進行藍寶石基板的乾蝕刻,最後除殘留的遮罩層後即完成藍寶石基板的圖案化。
2.轉印法:比較光阻與壓印遮罩材料對藍寶石基板的蝕刻選擇比偏低,金屬則有很高的蝕刻選擇比,配合接觸轉印微影技術,在細微結構及高深寬比的圖案化藍寶石基板製作上,具有很高的應用潛力。
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