Polishing cloth

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                Polishing cloth指為拋光晶圓面所用之布。有關機械化學拋光，以具備一定之拋光能力，一定之摩擦阻力及適度之硬度，或抗藥品性優異之人工皮革為主流。

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分類主題： IC生產‧矽晶圓‧IC製造

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