江蘇微導納米科技股份有限公司
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江蘇微導納米科技股份有限公司(688147.SH)成立於2015年,係一家高端設備製造商,以原子層沉積(ALD)技術為核心,專注於先進微米級、納米級薄膜沉積設備的研發、生產與應用。
公司專用設備產品主要包括 ALD 設備、PECVD 設備、PEALD二合一平臺設備,主要產品為應用於邏輯晶片、存儲晶片、矽基微顯示和3D 封裝等半導體及泛半導體ALD設備和技術,以及應用於柔性電子、新一代高效太陽能電池的薄膜設備和量產解決方案。
公司產品率先用於太陽能電池片生產過程中的薄膜沉積環節,客戶包括通威股份、隆基綠能、晶澳科技、天合光能等知名太陽能電池生產商。
此外,公司亦開發了對技術水準和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備,已先後獲得國內多家知名半導體公司的商業訂單,並實現了國產ALD設備在28nm積體電路製造關鍵工藝(高介電常數柵氧層材料沉積環節)中的突破。
圖片來源:公司招股書
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