Planarization
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Planarization指隨著布線之多層化，可將縱向構造段差凹凸情況，加以緩和之技術。就絻緣膜之平坦化法而言，有渡膜法、偏濺射法、平坦化熱處理法、背面蝕刻法，及剝離法；就金屬膜之平坦化法而言，有偏濺射法、CVD選擇生長法等；對於CMP
法所能獲得跨於晶圓全面之平坦化，特別稱為全面平坦化（general planarization）。
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基金名稱 年報酬率 0.95% -1.08% -5.96% -6.82%
ETF名稱 日報酬率 0.95% -1.08% -5.96% -6.82%
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