真空蒸著法

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                真空蒸著法是一種將薄膜元件堆積在基板的方法。在一個真空倉內製造薄膜元件，這種方法是利用材料的蒸氣透過遮罩模紋沉澱在一基板上，而形成所希望的薄膜元件。

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