MoneyDJ新聞 2022-01-10 08:40:13 記者 郭妍希 報導
荷蘭半導體設備業龍頭艾司摩爾(ASML Holding NV)德國柏林廠上週一(1月3日)突傳火警，引起全球關注，根據該公司更新的訊息，初步評估柏林廠受到的影響有限，但極紫外光(EUV)微影設備的部分零件生產區域仍在恢復當中。
ASML 7日發布新聞稿指出，過去幾日進行的初步評估顯示，柏林製造基地一生產線建築有部分遭祝融，冒出的濃煙也部分影響了隔壁棟。這些受影響的建築已順利恢復一些生產作業，柏林廠區的其他建築則未受影響、一直都能正常運作。
ASML仍在持續評估受損情況，目前的檢視結果如下：
→計量(Metrology)和檢測(Inspection)產出計畫未受影響，因為使用的零組件並非來自柏林廠；
→深紫外光曝光設備(DUV)零件生產已獲重啟。雖然DUV零件受到一些干擾，但ASML應能設法解決問題，不會影響DUV的產出及營收計畫；
→關於極紫外光(EUV)微影設備，火災影響了晶圓夾(wafer clamp)一部分生產區域，這是EUV系統的一項模組。ASML還在設法讓這個生產區恢復正常，也在評估要如何調整產出計畫、現場服務(field service)，讓EUV客戶可能受到的影響降至最低。
ASML預定2022年1月19日公布第四季和2021年財報，以及2022年的初步展望，屆時也會針對這起意外公布更多細節。
ASML柏林廠主要製造微影系統需要的零組件，當中包括晶圓固定工作臺、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。ASML在2020年併購德商Berliner Glas。
根據外媒報導，分析人士直指，若ASML的EUV設備出貨量因為這場火災縮減10%，則可能讓全球微影設備供應量暫時減少8.4%，因為ASML擁有84%的市佔率。
台積電(2330)ADR 7日終場下挫3.87%、收123.50美元。ASML ADR 7日則下跌0.92%、收756.10美元。
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