台積Fab 14自動化再升級，年底人機比可達1:75

精實新聞 2013-10-04 11:14:49 記者 王彤勻 報導

晶圓代工龍頭台積電(2330)開放先進製程量產重要基地、南科Fab 14超大晶圓廠讓媒體參訪(見附圖)，包括黃光(litho)、蝕刻(etching)區機台、甚至最先進的曝光機都首度亮相。台積南科Fab 14廠長王英郎指出，台積超大晶圓廠可說是一個「超人化的無人工廠」，做到包括生產流程、物料搬運、以及機台等三大面向的自動化，尤其能做到遠端機台操控，以及異常處理自動化的任務。而他也強調，南科Fab 14的12吋廠原本人機比約1:20，如今經過再進化的過程，估計兩個月後隨著「先進製造戰情中心」(AMCC)的成立，人機比可以達到1:75。

除先進製程機台外，台積南科Fab 14的晶圓廠自動搬運系統也首度曝光。台積說明，隨著晶圓面積越做越大，重量也越來越重。舉例來說，6吋晶圓盒的滿載重量約為3.2公斤，8吋則增加至4.9公斤，而到了12吋晶圓則大幅增加至9.2公斤，也因此台積在廠內運送晶圓盒的方式也不斷演進，從原本的手動+推車，演進到手動+倉儲(stocker)，然後再演進至半自動車(PGV/OHT)的運輸方式。

身為全球最大的12吋晶圓生產基地，南科Fab 14的「廠內交通」自然也相當繁忙。台積指出，Fab 14廠內的自動搬運系統，光軌道總長度就達43公里，這等同台北到高雄的距離。而Fab 14內的每日晶片運送量更達60萬次，這個數字則是台北捷運每日載客量的7.7倍，相當驚人，廠內更可不時看到晶圓盒分別在不同高度的軌道上前後跑動。台積電表示，Fab 14跨區域閘道口的每小時運送量達1200次之多，這個數字更是台南交流道假日車流量的1.5倍之多。

而為強化Fab 14的自動化程度，台積也預計於今年底前成立「先進製造戰情中心」(AMCC)，要將原本散布廠區各處、與工廠相關的決策、監控等功能全數集中於戰情中心內，除可增進跨部門溝通的效率，也可以提升第一線管理者的決策品質，屆時Fab 14 12吋廠的人機比，可從原本的1:20再躍進為1:75。