台積電投資ASML 共促18吋晶圓製程加速發展

精實新聞 2012-08-06 08:40:42 記者 新聞編譯 報導

全球晶圓代工龍頭台積電(2330)於8月5日宣佈加入荷蘭艾司摩爾(ASML)公司「客戶聯合投資專案」(Customer Co-Investment Program)，預期可加速下一世代關鍵半導體製造技術—極紫外光(EUV)微影技術與450mm(18吋)晶圓微影設備開發及量產。

根據該協議內容，台積電將投資ASML 8.38億歐元以取得該公司5%股權，並在未來五年投入2.76億歐元以支持ASML研發計畫。總計台積電預計共將投資ASML約11.14億歐元(逾新台幣400億元)，參與這項專案計畫。

台積電執行副總經理暨共同營運長蔣尚義表示，當前縮小積體電路尺寸(IC scaling)面臨的最大挑戰之一，便是如何有效控制逐漸高漲的晶圓製造成本，相信此次挹注ASML研發經費將可確保且加快EUV微影技術開發，並提高光學微影工具效能，促進450mm晶圓製造技術加速發展，同時有助於控制晶圓成本，保障經濟效益。

ASML執行長Eric Meurice則指出，此次台積電加入「客戶聯合投資專案」，其目的是為了讓關鍵微影技術發展順利且加速進行，不僅將使投資夥伴受益，預期整個半導體產業也將受惠。