離子植入法

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                離子植入法是半導體摻雜的式之一。將欲加入的雜質先離子化，提昇雜質的能量或動能，接著，利用電場加速離子運動速度及磁場改變運動方向，將經離子化的雜質直接打入矽晶片內，使雜質原子擴散進入矽晶片內部。

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