江蘇先鋒精密科技股份有限公司

江蘇先鋒精密科技股份有限公司(688605.SH)成立於2008年，總部位於江蘇泰東南部長江邊的靖江市。公司為半導體蝕刻和薄膜沉積設備關鍵零件的精密製造商，是全球少數的已量產供應7nm及以下國產蝕刻設備關鍵零件的製造商。此外，公司還擁有先捷航空和先研新材全資子公司。

 

公司產品主要分為關鍵製程部件、製程部件及結構部件：

1.關鍵製程部件：包括內襯、加熱器、勻氣盤及腔體，系晶圓反應工作區的關鍵部件，構成腐蝕隔離、可控溫、反應氣體特定分佈、真空環境等晶圓製造工藝的必備條件；

2.製程部件：指與內襯、加熱器、勻氣盤及腔體共同構成反應工作區的零部件，通常起到密封、導流、運動等功能；

3.結構部件：指位於反應工作區外、通常起到連接、支撐、傳輸等功能，種類繁多，不同產品差異較大。 
 

公司自設立時起，即與北方華創和中微公司開展密切合作，作為核心零部件的重要供應商協助客戶諸多設備經歷了研發、定型、量產和反覆運算至先進制程的完整歷程。同時，公司還與拓荊科技、華海清科、中芯國際、屹唐股份等其他行業和終端晶圓製造企業建立了長期穩定的戰略合作關係。