Tegal Corporation研發製造與銷售電漿蝕刻系統,應用於積體電路、小尺寸平面監視器智慧卡與印表機等裝置的製造,該蝕刻產品用來提高8吋晶圓的製程彈性,客戶包括MATSUSHITA、SEIKO、EPSON、FUJI FILM等。