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                    Tegal Corporation研發製造與銷售電漿蝕刻系統，應用於積體電路、小尺寸平面監視器智慧卡與印表機等裝置的製造，該蝕刻產品用來提高8吋晶圓的製程彈性，客戶包括MATSUSHITA、SEIKO、EPSON、FUJI FILM等。

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