(文．羅毓嘉)

電子數檢測設備大廠漢微科(3658)掛牌上櫃才不過1年多時間，即多次榮登台股股王，法人不吝給予30倍的超高本益比，更是令台股各產業族群瞠乎其後，其間法門無他，自是漢微科領先全球競爭者的技術佈局，以及與全球半導體龍頭業者緊密的共同研發模式，讓漢微科在半導體製程不斷縮微的趨勢中，一馬當先踩穩了浪頭，在台灣半導體設備族群裡刮起一陣旋風。

漢微科董事長許金榮指出，隨著漢微科客戶群進到28奈米量產階段，可謂「氣勢如虹」，尤其隨著客戶往20奈米、16奈米推進，漢微科的電子束檢測設備更是半導體大廠在缺陷檢測過程中不得不借重的「眼睛」。許金榮指出，漢微科未來1年內看法都十分正面，尤其漢微科的技術有3-5年的領先，未來也將持續開拓產品應用面、新客戶，維持在電子束檢測設備產業的領先地位，今年營收將再締新高。

對於漢微科上櫃以來股價自200元大漲至千元大關、數度與大立光(3008)發生股王寶座的肉搏戰，並帶動台系半導體設備供應鏈比價效應，會不會有任何壓力？許金榮則一笑置之，雲淡風輕指「壓力是沒有，但期待也沒有」，透露著漢微科專注於技術發展、展現科技人追求卓越的純粹風範，或許正是漢微科在日新月異的半導體業界，結出豐盛報酬果實的關鍵原因。

漢微科看好今年營收再創高，配息料同增

漢微科主要生產跳躍式掃描系統(Leap Scan)、連續式掃描系統(Continuous Scan)及電子束製程監控系統等機台設備，受惠於半導體先進製程不斷演進，對於晶圓缺陷(wafer defect)的檢測精準度愈發殷切，上一代的光學檢測已漸不敷先進製程使用，電子束檢測機台的需求大幅成長，也造就漢微科的營運榮景。

根據研調機構Gartner的報告，2013年是半導體產業資本支出恢復成長的年度，預估半導體資本支出將年增18.4%，尤其半導體廠持續擴充新製程，高解析度電子束檢測儀器成為半導體廠不可或缺的利器。

漢微科董事長許金榮指出，半導體大廠不斷投入新製程研發，在製程不斷縮微背景下，對於電子束檢測設備需求不斷增長，就足以確保漢微科的穩健營運，儘管競爭廠商陸續推出新產品，不過他認為，漢微科的技術較競爭者有3-5年的領先，因此短期內並不至於受到威脅。

事實上，漢微科不僅與晶圓代工大廠台積電(2330)有穩固的合作關係，今年也開始切入美商Intel的設備供應鏈，等於穩站全球晶圓製造業的成長浪潮，放眼全球半導體業界，凡擁有12吋晶圓生產線的半導體大廠，均已被漢微科納入客戶名單。

許金榮表示，今年漢微科客戶群進到28奈米量產階段，可謂「氣勢如虹」，漢微科的電子束檢測設備協助客戶研發、量產，「只要他們好我們就好」，根據今年客戶端看法，漢微科今年營運「不比去年差」，由於漢微科去年營收已創新高，也意味著許金榮看好漢微科今年營收可望再度創高的正面看法。在此同時，他也強調，漢微科客戶穩健開發未來製程，新技術自然會帶動新設備需求，漢微科「是賣Solution(解決方案)、不是單純賣設備機台」，藉著與客戶保持長期的合作關係，維持穩健的成長。

就漢微科中長期展望，許金榮認為未來1年內看法都十分正面，尤其漢微科的技術有3-5年的領先，未來也將持續開拓產品應用面、新客戶，維持在電子束檢測設備產業的領先地位；不過許金榮也坦言，KLA-Tencor等市場競爭者始終存在，漢微科將持續開發新技術，將觸角往更高階製程的檢測需求延伸。

根據漢微科的技術藍圖擘劃，今年將推出適用於14奈米製程的檢測設備，明年則將推出11奈米製程設備，持續與晶圓代工廠、半導體製造商在研發與量產階段緊密合作，確立穩固的成長。

成立新事業發展處 深化開拓設備應用

漢微科不僅已在電子束檢測設備領域稱王，漢微科並不以此為滿。為了擴增中、長期成長動能，漢微科已在今年3月間成立新事業發展處，以漢微科的電子束檢測技術與專利為核心，著手開發新應用、新領域、新客戶。

即便「新事業」的具體方向尚未完全確定，不過許金榮透露，新事業除發揮漢微科核心技術長處，在半導體產業中「往前看、往下走」之外，也不排除往生醫檢測等領域延伸，持續拓展漢微科技術、產品的應用面。

儘管在電子束檢測設備產業市佔率超過8成，許金榮指出，在漢微科專擅的半導體領域，仍預期將以「往前看、往下走」兩大方向為主軸，深化客戶群的耕耘，並跨出目前以晶圓代工、半導體生產為主體的客戶結構。

許金榮說明，漢微科作為製程檢測設備商，為客戶提高良率正是價值所在，「往前看」意味著跨入IC設計端，協助新客戶在設計與試產階段，就發現設計或晶圓可能缺陷所在；而「往下走」則是支援先進封測業者，在封裝技術邁入晶圓等級(wafer scale)時，仍能保有高度良率，同時漢微科的客戶組合也將更形拓寬。

另一方面，針對市場關心漢微科是否將以電子束檢測為核心，開發掃描式電子顯微鏡(Scanning electron microscope, SEM)、揮軍生醫檢測產業，許金榮則強調，漢微科對產品的新應用方向，保持對選項開放的看法，重點是要讓設備應用、客戶群都能推展得「更深更遠」。

日前外資券商巴黎銀行即已看好，隨漢微科eScan500/eP4等高解析度檢測設備在2014年面世，影像解析度貼近掃描式電子顯微鏡(SEM)，將具備揮軍SEM市場的潛力。巴黎銀行指出，SEM應用面涵蓋電子材料、生醫、化學等領域，市場規模初估2倍於電子束晶圓檢測設備，一旦漢微科成功切入SEM產業，更將奠定漢微科下一波的成長動能。