無塵室(Clean Room),又名潔淨室或清淨室,其形成主要是利用強迫循環空調系統,配合多層次的精密濾網,排除空氣中之氣狀與粒狀污染物,並將溫度、濕度、電磁波、靜電及微振動等控制在合適的範圍內,而所給予特別設計之房間。此環境目前被廣泛運用於半導體、光電、醫療製藥、生化等產業,尤其是超大型積體電路與光學產業對於空氣中浮游粒子、化學分子等之污染極為敏感。由於此技術在工程領域中涉及較廣,層次較高,加上各類專業人才經驗累積費時,故進入門檻較高。
依1999 年Cleanroom Design 資料(如表一)可看出,高科技產業對無塵室清淨需求等級,其中以IC 產業的Wafer Fabrication 最高。
表一、高科技產業需求無塵室等級一覽表
產業別 |
需求無塵室等級 |
備註 |
IC產業
◎Material Preparation(磊晶) ◎Wafer Fabrication(晶圓 ) ◎封裝測試
製藥產業
◎Injectables ◎Topical ◎Oral Products
醫療相關產業
◎醫療設備 ◎人工心臟等人造組織
生化產業
光電產業
◎TFT ◎LCD ◎LCM ◎OLED
EMES 產業 |
100 1(or better)-1,000 100-10,000
100 100-100,000 100,000-不需要
10,000-100,000 100-1,000
1,000-10,000
1-1,000 1,000 10,000-100,000 1-100,000
1-10,000 |
藥劑注射人體者需求較高之無塵等級,外用一般採用100,000 即可,但眼用或特殊者則需100 之等級。
視不同製程需要有不同要求與IC 製程十分類似惟其應用範圍更廣 |
資料來源:Cleanroom Design
國內業者技術已逐步達到國際水準
隨著國內電子資訊及生化科技等產業快速發展,在無塵作業環境的品質要求較以往更為精密及嚴格的趨勢下,新興的電機系統整合工程為順應市埸需求,亦積極投入無塵室等相關之工程領域。誠如上述所言,受制技術及經驗問題,國內相關業者起步較歐、美、日等先進工業化國家晚,使得以往較高等級的無塵室工程多由國外業者,如M+W、TKT、高砂熱工、大氣社、新日空等外商承攬,而國內業者多以較低階或外商轉包的周邊工程為主。然隨著技術合作、經驗累積及施工品質提升,國內業者近年亦漸受客戶肯定,開始承接國內科技大廠無塵室工程,如亞翔承攬聯電、友達、奇美、錸寶;漢唐承攬廣輝、台積電等都大大提升廠商競爭力。截壓2001 年4 月,統計近十年餘台灣IC 晶圓廠及TFT-LCD 光電廠無塵室工程案市場佔有率都有不錯的表現。
表二、近十年餘IC 晶圓廠及TFT-LCD 光電廠無塵室工程案市場佔有率
IC晶圓廠 |
M+W(德) |
TAKASAGO |
亞翔 |
TKS(日) |
TKT(德) |
36.37 |
21.21 |
18.18 |
12.12 |
6.06 |
TFT-LCD光電廠 |
亞翔 |
漢唐 |
M+W(德) |
三菱 |
SNK等四家 |
31.25 |
18.75 |
12.50 |
12.50 |
6.25 |
資料來源:亞翔工程
國內相關上市櫃公司營運情況
在國內上市櫃公司中能提供機電系統整合工程服務之廠商,包含台安、新企、漢唐、同開等,但在無塵室統包工程上,國內具能力提供專案系統整合服務的業者不多,以亞翔、漢唐為主。其中亞翔工程在近十餘年間台灣己完成之無塵室重大工程中,大型半導體無塵室之市場佔有率居全球第三,在光電市場則位居第一,為國內無塵室及整廠統包工程領導廠商,具自行規劃、設計、製造、安裝、測試、驗證到維修等能力之統包工程公司。其次為漢唐,另同開與擎邦則以支援區或週邊控制中心機電部分為主,完全設計整合能力尚不足。
表三、國內上市櫃公司營運情形
公司名稱 |
資本額 |
主要營業項目及比重(89年) |
近年來主要工程實績 |
亞翔工程 |
5.1億元 |
無塵室及整廠工程88.15% 製程管路工程8.67% 其他3.18% |
聯電5C、8D、8E、12A等無塵工程奇美二廠無塵工程(五座8吋廠、一座12吋廠、二座光罩廠、五座TFT-LCD主廠房) |
漢唐訊聯 |
16.37億元 |
系統整合工程95.73 ﹪ 維護工程2.13 ﹪ 設計業務2.14 ﹪
|
台積電FABGB MEPI 工程 瀚宇彩晶FAB2 廠無塵及機電工程 廣輝無塵室新建工程 |
同開科技 |
5.19 億元 |
高科技無塵機電系統61.54% 工業廠房機電系統35.85% 其他2.61 ﹪ |
華邦五廠無塵室工程 華映TFT-LCD 無塵室工程 南科FAB Ⅱ無塵室工程 |
擎邦國際 |
2.76 億元 |
石化及化工工程40.82% 高科技無塵室工程57.90% 食品及環保工程1% |
中環林口三廠無塵室工程 東元激光一期無塵室工程 |
資籵來源:各公司、富邦投顧整理
受到景氣低迷影響,2001 年台灣半導體及TFT-LCD 產業去年營運並不如預期,上市櫃公司中普遍呈虧損,廠商在投資及資本支出減少,亦使得其對各項機電系統工程需求下滑,加上國際大廠亦來台灣搶單造成低價競爭,以致從事半導體業無塵室機電、系統整合類股業者面臨較大挑戰,不過由於無塵室因投資金額大,工程實績、信譽、財務結構及技術能力為業主考量重點,一旦工程品質受肯定,原設計者不易被取代之優勢,故去年整體仍維持獲利狀態,自結每股稅後盈餘以亞翔9.49 元居冠,主要是亞翔除在高階無塵室設計、製造、安裝、測試、驗證各方面較佳,且獲聯電集團支持,此外近年推動製程化的工程程序管理效能大幅提升,故獲利能力較同業一般水準高,其次則為同開每股盈餘2.76 元。
表四、無塵室類股自結2001 年獲利比較
公司名稱 |
營收(億元) |
成長率(%) |
稅後盈餘(億元) |
成長率(%) |
每股盈餘(元) |
亞翔工程 |
38.39 |
17.89 |
4.84 |
37.50 |
9.49 |
漢唐訊聯 |
38.83 |
-13.26 |
3.23 |
-14.10 |
1.98 |
同開科技 |
11.05 |
2.76 |
1.43 |
50.53 |
2.76 |
擎邦國際 |
9.06 |
-5.82 |
0.32 |
-28.89 |
1.04 |
資籵來源:台灣經濟新報、富邦投顧整理
台灣無塵室工程業者受惠台灣高科技發展,尤其是半導體(晶圓)及光電產業對其需求及要求逐漸提高,亦使得國內業者在此環境優勢下,能夠逐步成長。
在半導體產業方面,1999-2000 年為晶圓建廠高峰,然2000 年後,半導體景氣急速衰退,速度之快幅度之大可能是半導體產業有史以來之最,2001 年全球市場規模可能較2000年衰退28%。而依各研究機構Dataquest 、SIA 、WSTS 及國內ITIS 等專業機構發表的預測報告看法,普遍認2002 年半導體景氣將逐漸復甦,因此在景氣回升後,半導體產業廠商對相關資本支出成長率及產值成長率衰退幅度將縮小,2003 年後則有機會成長。此外,由於無塵室對環境要求相當高,半導體廠在營運多年後逐漸進入大幅維修階段。不過,由於台灣晶圓代工優勢難以追趕,加上產能規模已大,發展重鎮-竹科用地已趨飽和,南科則受高鐵掁動,問題雖已解決但廠商投資信心降低,故成長力道將減緩。
資料來源:WSTS
在光電產業方面,正值全球不景氣之際,所幸國內TFT-LCD 產業正值規模擴張時期,對無塵室的需求增加,因此工程業者將部分重心轉向以分散過度集中風險。就TFT-LCD產業而言,可說是台灣繼半導體產業之後,另一項備受矚目且有機會可與日、韓等國一較長短的明星產業。自1998 年至今,台灣投入發展TFT-LCD 的金額已超過3,000 億元新台幣,在產能大舉開出下,市佔率快速上升。根據DisplaySearch 的研究,台灣廠商的市佔率已由2000 年第四季的18%快速上升到2001 年Q3 的24%,預估2002 年將有機會提升至32%。
而TFT-LCD 產業屬於景氣循環類股,目前產業正因LCD 監視器需求成長的帶動,由供過於求逐漸轉為供不應求,處於第三次產業景氣循環的谷底擴張期。而國內廠商隨著韓國5 代線投產時程的逼近及產業景氣的回升,業者也已全數表示將投入五代廠建置的計劃,未來在供給缺口未補足前擴廠動作將持續,故業者紛紛將提高此一部分的工程案,以亞翔為例,去年半導體及光電分別佔70 ﹪及30 ﹪,但今年公司預估光電比重將超過半導體部分,約佔60 ﹪;而半導體則降為30 ﹪;餘其他10 ﹪。
表五、台灣TFT-LCD 五代廠之規劃
廠商 |
地點 |
FAB名稱 |
尺寸 |
量產期 |
最大產能 |
友達 |
龍潭 |
L6 |
1.1m*1.25m |
2003年Q3 |
60,000 |
奇美 |
南科 |
FAB |
1.1m*1.25m |
2003年Q3 |
60,000 |
華映 |
龍潭 |
FAB |
1.1m*1.25m |
2003年Q4 |
60,000+ |
廣輝 |
龜山 |
Line6 |
1.1m*1.25m |
2003年Q2~Q3 |
40,000+ |
彩晶 |
南科 |
FAB |
? |
? |
? |
資料來源Display Search,PIDA 整理
在景氣回升後,除半導體產業廠商對製程轉換需求,光電廠商等擴廠計劃亦逐步展開,後續不管是在新建或維繕及升級的市埸需求將明顯成長。不過值得留意的是,在隨著政策開放高科技逐步往大陸市埸發展之際,各廠商為配合上游客戶,以便掌握大陸半導體業市場商機,未來亦將重心移往彼岸。此外,國際大廠如INTEL 或NEC 亦紛紛至大陸設廠,廠商為因應單一市埸之不景氣,除拓展國內業務,亦積極開發海外市場。目前漢唐己在上海成立子公司積極爭取大陸半導體廠商商機,而亞翔除在新加坡成立辦事處外,並透過海外BVI 子公司投入大陸市場佈局,如參與上海中芯半導體友達蘇州及華映昆山廠之工程案投標,未來大陸市場將成為業者重要一環。
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